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有刺激气味,有毒,能与水和乙醇任意混和,为中等强度的酸,腐蚀性极强,能浸蚀玻璃和硅酸盐而生成气态的四氟化硅。与金属盐类、氧化物、氢氧化物用作生成氟化物。不腐蚀聚乙烯、铅和白金。有剧毒,触及皮肤则溃烂。若吸入蒸汽,危害更大!不能用手接触。